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CS-3200
525 系列 — 表面粗糙度 / 輪廓測量裝置
特點
• 驅動器(X1 軸) 與立柱(Z2 軸) 均配備有高精度光柵尺(ABS 型)，從而可實現豎直方向與水平方向運動中的全自動測量。小孔沿豎直方向的連續自動測量與難于定位部件的重復測量的再現性得以改進。
• 為避免驅動器與工件之間的相互干擾，檢出器可加以延伸擴展。所有檢出器與驅動器的連接線均封裝在主機內部，以防磨損并確保無障礙高速運行。
• 當輪廓檢出器(工廠安裝選件)3000*或 4000* 時，Z1 軸(高) 方向的測量范圍由5mm 急劇增加到 50mm。
• 驅動器(X1 軸) 傾斜功能強力支持傾斜平面的測量及不易移動的重型工件的測量。
基本技術參數:
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (主機)
重量: 140kg (主機)
電源: 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機)
技術參數:
X1 軸
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
驅動速度: 0 - 80mm/s 外加手動
測量速度: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s
(在表面粗糙度測量時)
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s
(在輪廓測量時)
測量方向: 向前／向后
直線度: 0.2μm/100mm (0.4μm/100mm: 在輪
廓測量時)
* 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20ºC): ±(0.8+0.01L)μm
L = 驅動長度 (mm)
傾斜范圍: ±45º
Z1 軸
測量范圍: 5mm
分辨率: 80nm (5mm 范圍)
8nm (0.5mm 范圍)
0.8nm (0.05mm 范圍)
指示精度 (20ºC): ±(1.5+I2HI/100)μm
H 為基于水平位置的測量高度 (mm)
測力: 0.75mN
跟蹤角度: 向上: 65º, 向下: 65º
(使用配置的標準測頭，依表面粗糙度而定)
測針針尖 (標準型): 金剛石針尖,
針尖角度: 60º, *半徑: 2μm
測針針尖 (圓錐): 藍寶石針尖,
針尖角度: 30º, *半徑: 25μm
測針方向: 向下
Z2 軸 (立柱)
立柱移動: 300mm
分辨率: 1μm
驅動速度: 0 - 20mm/s 外加手動
本
性能參數
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