ZDF―Ⅲ型系列電阻/電離復合真空計是基于低
真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規)與高真空測量電
離單元(ZJ-10電離規)技術組合，以完成1×105~1
×10-4Pa連續測量與控制。因此該真空計系列具有
電阻真空計與電離真空計所有技術參數與性能特
點；同時又增加了新的功能。該真空計系列具有兩
種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作
時，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；
熱偶、電離復合真空計
型號：ZDF―Ⅲ
儀器資料：
◆概述：
ZDF―Ⅲ型系列電阻/電離復合真空計是基于低
真空測量電阻單元（ZJ-52T電阻規）與高真空測量電
離單元（ZJ-10電離規）技術組合，以完成1×105~1
×10-4Pa連續測量與控制。因此該真空計系列具有
電阻真空計與電離真空計所有技術參數與性能特
點；同時又增加了新的功能。該真空計系列具有兩
種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作
時，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動
模式工作時，首先電阻單元進入測量，當電阻單元
測量真空度高于電離規可以開啟的真空度時，電離
規燈絲自動被點亮（開啟），并進入高真空測量，實
現了從大氣壓（常壓）到高真空的自動連續測量。還
增加了外設（PLC）開閉電離規功能，以實現電離規
工作于*真空環境，使電離規工作壽命zui大化。
部份機型采用了開關電源供電及開關直流電源驅功
穩定電離規燈絲發射電路，實現了高度集成無工頻
變壓器設計，實現了電離規燈絲冷態預熱緩啟功，
克服了電離規燈絲冷態啟動過沖現象，延長了規管
壽命，實現了寬廣的交流電源適應能力（AC/90V
~260V），實現了寬廣的電纜線長度自適應能力
（3-30米）。是目前穎的電離規燈絲驅動穩定技
術。為適應真空設備自動化技術，并集成了強大的
繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴展功
能。特別適用于真空應用設備極限真空為10-2-10-
3Pa量級，工作真空為10-1-10-2Pa量級從大氣壓
（常壓）至高真空的測量與控制。
◆技術參數：
*規管型號：電阻規ZJ-52T/電離規ZJ-10
*測量范圍：連續測量（自動模式）1×105~1×
10-4Pa
獨立測量（手動模式）電阻單
元1×105~1×10-1Pa；電離單元5~1×10-4Pa
*測量路數：1低1高
*控制范圍：
電阻單元2.5×103~1×100Pa
電離單元5×100～1×10-
3Pa
*控制路數：4路可擴展至4或8路
*控制精度：±1%
*控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力
AC220V/3A（或DC28V/3A）無感負載
*去氣方式：轟擊去氣
*儀器采樣時間：1S
*電源：90-260V/50Hz或220V±10%50Hz
*功耗：55W
*重量：6Kg/5Kg/4Kg（視機箱尺寸而定）
*機箱尺寸：240×88×280或480×88×280
265×119×280或480×119×280
（寬×高×深）
◆性能特點：
*LED綠屏數字顯示
*寬廣的測量范圍
*快速的反應速度
*微處理器修正規管非線性，減少了測量誤差
*精密真空信號放大電路，穩定的零點和滿度
*寬廣的穩發射回路，自適應調節穩定電離規發射
電流
*全量程自動切換，無需手動換檔
*超量程自動保護，不會因系統突然曝露大氣而損
壞規管。
*光電隔離，數字濾波，優異的抗*力，穩
定、可靠的真空測量
*功能化、模塊化結構設計
*點控或區域控制，控制上、下限區間任意設定
*控制點掉電（失電）保護，記憶功能。
*簡化功能按鍵，操作十分簡單，不會因操作失誤
而損壞規管或儀器。
*PVC彩色面板，外型美觀大方
◆選配擴展功能及選件：
*選配功能:0～5/10V/10mV，0/4～10/20mA等
真空度摸擬量輸出
*選配功能:打印機接口
*選配功能:RS232、RS485等單向或雙向接口輸
出
*選配功能:打印機接口
*規管接口選件：15.5外徑玻規；15.5外徑金屬
直管DN16/25/35CF;DN10/16/25/40KF;NPT;VCR;G
管螺紋等接口
*線長選件:3米/5米/10米/15米/20米/25米/30
米......zui長至100米
◆說明：
1、電阻單元有效測量范圍：3×103～5×10-
1Pa
1×105～3×103Pa及5×10-1～
1×10-1Pa測量值僅作參考。
2、電阻單元測量值（用干燥空氣或氮氣校準的
值）與氣體成份有關，若需測量特殊氣體的真空度，應選用其它相應型號的真空計。
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