德圖氣探針

以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗,又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動能為10~30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。

用波長色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測計數系統,測量特征X射線的波長(或能量)和強度，即可鑒別元素的種類和濃度。

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內、原子序數4以上的所有元素;但是對原子序數小于12的元素，其靈敏度較差。常規分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達十萬分之一。檢測的靈敏度因元素而異，一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優于±2%

 德圖氣探針
電子探針儀是 X射線光譜學與電子光學技術相結合而產生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了*臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結構上有許多共同處。70年代以來生產的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附
電子探針分析
電子探針分析
加另一些附件，使之除作微區成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。

電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統 (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統和顯示、記錄系統、樣品室、高壓電源和掃描系統以及真空系統。