安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風裝置：需要

技術參數

1、電源：AC220V 1.2KW

2、石英管：外徑?25mm，內徑?20mm，長450mm

                     外徑?50mm，內徑?43mm，長450mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區域：200mm

5、工作溫度：最高1200℃（<1h），連續工作1100℃

6、最大升降溫速率：10℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機械泵）

產品規格

尺寸：750mm×300mm×400mm；重量：18kg

標準配件

1

氧化鋁管堵

2套

2

不銹鋼法蘭

1套

可選配件

1、石英管堵

2、波紋管

3、數字真空計

4、KF25轉換接頭

5、卡套接頭（?6.35mm，可使爐管內獲得微正壓）