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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> 微型PECVD系統(tǒng)
等離子體射頻電源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W
輸出頻率：13.56MHz
三檔射頻功率大小：7.2W.10.5W和18W（可調(diào)節(jié)）
腔體尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2torr（用機(jī)械泵)
滑動(dòng)法蘭：
•有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上，以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使樣品達(dá)到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃
輸入電源：AC220V
•混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì)，其量程為10-100SCCM
•三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!
凈重:141bs.
真空和氣體接口：
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有
•一套3”的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管（長(zhǎng)度為1m)和三KF25卡箍
•一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。
•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量，確保等離子體達(dá)到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵：
•儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
進(jìn)氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動(dòng)架：
設(shè)備中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移動(dòng)架，整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸：
•等離子源：8.5"Hx10"Wx8"D
•溫控盒：4"Hx10"Wx8"D
移動(dòng)架：600x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
質(zhì)保期：
一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）
