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勻烤膠一體機
產品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)
產品參數
旋轉速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數:控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
