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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

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等離子清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:PCE-80

品       牌:

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-11 15:14:35瀏覽次數:3229次

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PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續可調節。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
    等離子清洗機技術參數

 輸入電源 AC 220V , 50/60 Hz, 
大射頻功率: 100 W 
真空泵功率: < 500W
總功率: < 600W
 射頻功率 射頻功率可在 0 - 100W之間調節
射頻:   13,56 MHz
可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗
 等離子腔體 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口
 控制面板 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.
儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量
 真空泵 儀器中包括一臺240L/min直聯式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。
極限真空度為50mTorr
 通入氣體 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定)
 可選 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
可選購2-4通道質子或浮子混氣系統
 
 外型尺寸 620 L ×450 W ×600 H, mm
 質保期 一年質保期,終生維護

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