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上海添時科學儀器有限公司

旋轉涂布機的工作原理

時間:2023-3-22 閱讀:2092
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“旋涂機"是一種利用旋轉離心力的涂布裝置,也被稱為“旋轉涂布機"。對于平滑的被涂物(工件),能夠形成薄且均勻的涂層。旋涂機的用途非常廣泛,代表性用途包括半導體晶圓的表面處理、光阻涂布等流程類工序,以及光學媒介涂膜、鏡頭底劑及調光液的涂布等。

旋涂機涂布

  1. A. 旋轉 B. 被涂物表面C. 涂液



將涂液滴落在被涂物(工件)的中心,進行高速旋轉。加速旋轉會對涂液施加離心力,使涂液擴散到整個表面并成膜。涂布膜厚取決于涂液的粘度、被涂物的轉速、旋轉啟動加速度、與干燥速度相關的排氣。
旋涂的原理是依靠旋轉離心力將多余的涂液甩離被涂物,因此實際成膜的液量要少于滴落的液量,存在會導致材料損耗的缺點。

為了通過排氣控制干燥速度,防止涂液飛濺到設備外部,避免異物混入,旋轉體及滴落的機構通常都會被收納在箱體中,或采用涂裱時關閉上蓋的設計式樣。
設備的基本原理在近幾十年并未改變,但適用于被涂物不同尺寸、重量、材質的裝置,轉速(速度)控制、自動滴落之類的規格功能等,都實現了更加多樣化的發展。



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