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廣州嶺江光學(xué)科技有限公司
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重慶光電COIC-重光MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡
  • 重慶光電COIC-重光MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-04-25 21:00:08

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伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。

伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。

儀器特性:

  1. l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
  2. l 視場數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
  3. l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉(zhuǎn)換
  4. l 機架經(jīng)計算機《有限元》分析處理,有高穩(wěn)定性及抗振性
  5. l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌,使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性
  6. l 采用人機工程學(xué)的設(shè)計理念,調(diào)焦手輪前置,使之操作舒適。

高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質(zhì)量。

無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡

MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡

在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換

MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系統(tǒng)

MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個視場內(nèi)照明均勻。

MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡配套表

 

 

MA3000

MA3020

附  注

1

反射式工業(yè)檢驗顯微鏡主機

 

反射式,手動轉(zhuǎn)換器,偏光附件

2

透反射式工業(yè)檢驗顯微鏡主機

 

透反射式,手動轉(zhuǎn)換器,偏光附件

3

載物臺

200X200行程,有快速離合裝置

4

玻璃載物板

200X200

5

燈箱組

●●

12V50W反射光用光源

6

30°傾斜雙目組

 

7

五孔手動轉(zhuǎn)換器

兩只裝暗場物鏡的大孔,三個裝明場物鏡的小孔

8

4×長距平場物鏡

LPL 4X/0.10    ∞        工作距離 27.236mm

9

10×長距平場物鏡

LPL 10X/0.25   ∞        工作距離 18.48mm

10

20×長距平場物鏡

LPL 20X/0.40   ∞      工作距離 8.35mm

11

40×長距平場物鏡

LPL 40X/0.65   ∞      工作距離 3.895mm

12

50×長距平場物鏡

LPL 50X/0.70   ∞      工作距離 1.95mm

13

80×長距平場物鏡

LPL 80X/0.80   ∞      工作距離 0.848mm

14

10X長距平場暗場物鏡

D LPL 10X/0.25  ∞      工作距離 18.48mm

15

20X長距平場暗場物鏡

D LPL 20X/0.40  ∞      工作距離 8.35mm

16

40X長距平場暗場物鏡

D LPL 40X/0.65  ∞      工作距離 3.895mm

17

50X長距平場暗場物鏡

D LPL 40X/0.70  ∞      工作距離 1.95mm

18

80X長距平場暗場物鏡

D LPL 40X/0.80  ∞      工作距離 0.848mm

19

4X平場物鏡

 

PL 4X/0.10   ∞/0.17

20

10X平場物鏡

 

PL 10X/0.25   ∞/0.17

21

20X平場物鏡

 

PL 20X/0.66   ∞/0.17

22

40X平場物鏡

 

PL 4X/0.10   ∞/0.17

23

100X平場物鏡

 

PL 100X/1.25oil  ∞/0.17

24

10×大視野目鏡

●●

●●

WF10×-22

25

16×大視野目鏡

○○

○○

WF16×-16

26

黃、綠、蘭、中性濾色片

各一

27

毛玻璃片

 

28

35mm攝影接筒

 

29

2.5X攝影負(fù)目鏡

 

30

CCD攝像機接頭

顯微鏡與DV02或視頻攝像機聯(lián)接用

注:●為*件,○為可選件。

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