Apreo掃描電子顯微鏡FEI電鏡，Thermo Scientific™ Apreo SEM 具有廣泛 地適用性，可以在fe時(shí)間內(nèi)為材料研究人 員提供的成像質(zhì)量。當(dāng)Apreo的電子束打開(kāi)，形貌和成分襯度可以同時(shí)被鏡筒內(nèi)探溉系統(tǒng)呈 現(xiàn)：無(wú)需繁瑣操作，即可快速探索并獲取樣品各方面信息。在高放大倍率 下，Apreo的長(zhǎng)工作距離（如10mm分析工作距離）也能表現(xiàn)出杰出的分 辨性能。

即使在絕緣、電子束敏感或磁性的材料上，Apreo的用戶界面也可 以高效地引導(dǎo)操作者獲得表征該納米結(jié)構(gòu)的*參數(shù)條件_。Apreo能在短 時(shí)間內(nèi)解決錯(cuò)綜復(fù)雜的研究問(wèn)題，適用于需要多功能以及多用戶操作的應(yīng)用 場(chǎng)合。

Apreo掃描電子顯微鏡FEI電鏡Apreo是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺(tái)，其創(chuàng)新的末 級(jí)透鏡設(shè)計(jì)，絲毫不會(huì)降低對(duì)磁性樣品的分辨能力。靜電式末級(jí)透鏡 (Apreo C和Apreo S)能夠?qū)崿F(xiàn)鏡筒內(nèi)多種信號(hào)的同時(shí)探測(cè)和高分辨 率，而Apreo S則結(jié)合靜電、浸沒(méi)式磁場(chǎng)的S合透鏡以進(jìn)一步提高低電壓 下的分辨率，在1 kV加速電壓下的分辨率為10 nm,不需要電子束減速。 通過(guò)將浸沒(méi)式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實(shí)現(xiàn)*的信號(hào)過(guò)濾功能。

Apreo擁有透鏡內(nèi)背散射探測(cè)器T1,其位置緊靠樣品，確保在較短的時(shí)間 內(nèi)獲得大.5的采集信號(hào)。與其他背散射探測(cè)器不同，這種快速的探測(cè)器在 導(dǎo)航時(shí)、傾斜時(shí)或工作距離很短時(shí)能夠始終保持良好的材料襯度。在表征敏 感樣品時(shí)，探測(cè)器的*性能尤為突出，即使電流低至幾pA,它也能提供 清晰的背散射罔像〇 Apreo S復(fù)合末級(jí)透鏡通過(guò)能量過(guò)濾實(shí)現(xiàn)高質(zhì)置的材料 襯度以及絕緣樣品的無(wú)電荷成像，進(jìn)一步提高了 T1 BSE探測(cè)器的使用價(jià) 值。Apreo還提供了受歡迎的選配探頭來(lái)補(bǔ)充其探測(cè)能力，例如定向背散射 探測(cè)器(DBS)、STEM 3+和低真空氣體分析探測(cè)器（GAD)。所有這些探 測(cè)器都擁有優(yōu)異的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇有價(jià)值的樣 品信息。

主要優(yōu)勢(shì)

全面實(shí)現(xiàn)麟分難能，從納米顆粒，粉末，雛劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料^3

有效的背散射電子探測(cè)始終可保證良好的材料襯度，即使 是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對(duì)電子束敏感樣品 進(jìn)行TV速率成像是也不例外_。

無(wú)比靈活的探測(cè)器可將各個(gè)探測(cè)器分割提供的信息相結(jié)合， i±用戶能夠獲得至關(guān)重要的對(duì)比或信號(hào)強(qiáng)度。

各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉(cāng)壓力大為500

Pa的彳^空模式，可實(shí)現(xiàn)任何樣品的成像。

的分析平臺(tái)提供高電子束電流，而且束斑很小。倉(cāng)室

支持三個(gè)EDS探涵器、共面的EDS和EBSD以及針對(duì) 分析而優(yōu)化的低真空系統(tǒng)。

樣品處理和導(dǎo)航極容易，具有多用途樣品支架和

Nav-Cam+₀

通過(guò)高級(jí)用戶指導(dǎo)、預(yù)設(shè)^撤消功能為新用戶提 供專家級(jí)結(jié)果，

每個(gè)Apreo都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包括：高真空技 術(shù)，例如SmartSCAN™、漂移補(bǔ)償幀積分(DCFI)和電荷過(guò)濾。對(duì)于有 挑戰(zhàn)性的應(yīng)用，Apreo可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(大 為500 Pa)策略，通過(guò)經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的穿鏡式差分抽氣機(jī)構(gòu)和低真空探 淝器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供的分辨率和較大的分 析電流。

隨著分析技術(shù)的使用越來(lái)越常規(guī)化，Apreo倉(cāng)室經(jīng)過(guò)全新設(shè)計(jì)，以便更好 地支持不同的配件和實(shí)驗(yàn)。倉(cāng)室多容納三個(gè)EDS/WDS端口，可實(shí)現(xiàn) 快速敏感的X射線測(cè)置、共面EDS/EBSD/TKD排列并與（冷凍）CL、 拉曼、EBIC和其他技術(shù)兼容。

所有這些功能都能通過(guò)簡(jiǎn)單的樣品處理和熟悉的xT UI獲得，節(jié)省了新用戶 和專家級(jí)用戶的時(shí)間。可自定義的用戶界面提供了諸多用戶指導(dǎo)、自動(dòng)化和 遠(yuǎn)程操作選項(xiàng)。

通過(guò)所有這些優(yōu)勢(shì)（包括復(fù)合末級(jí)透鏡、高級(jí)探測(cè)和靈活樣品處理）， Apreo可提供出色的性能和多功能性，幫助您應(yīng)對(duì)未來(lái)多年的硏究難題。

電子光學(xué)器件

•高分辨率場(chǎng)發(fā)射SEM鏡筒，配有：

-高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，用于提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流

-復(fù)合末級(jí)透鏡：靜電、無(wú)磁場(chǎng)和浸沒(méi)磁技術(shù)結(jié)合而成的物鏡*

-60°物鏡幾何結(jié)構(gòu)：支持傾斜較大的樣品

•自動(dòng)加熱式光闌，可確保清潔和無(wú)接觸式更換光闌孔

•支持低真空*的穿鏡式差分抽氣結(jié)構(gòu)，可減少電子束裙散效應(yīng)，以 實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的分析和大的分辨率

•載物臺(tái)偏壓在-4000 V到+600 V之間的電子束減速

•持續(xù)的電子束電流控制和經(jīng)過(guò)優(yōu)化的孔隙角度

•雙載物臺(tái)掃描偏轉(zhuǎn)

•輕松安裝和維護(hù)的電子槍-自動(dòng)烘烤、自動(dòng)啟動(dòng)、無(wú)需機(jī)械合軸 •保證的短燈絲壽命：12 ^月

電子束參數(shù)

•電子束電流范圍:1卩八-400從

•加速電壓:200 V—30 kV

•羞陸能置范圍：20eV-30keV

•大水平視場(chǎng)寬：10 mm工作距離下為3_0 mm (對(duì)應(yīng)于 小放大倍率x29)。

倉(cāng)室

•內(nèi)寬:340 mm •分析工作臟：10 mm