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常州恒隆儀器有限公司

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XPS-7半導(dǎo)體材料氣體測(cè)試儀

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XPS-7半導(dǎo)體材料氣體測(cè)試儀特長(zhǎng)：
只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)對(duì)象氣體
用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測(cè)器校正
大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間

規(guī)格：

型號(hào)

XPS-7
檢測(cè)原理

定電位電解式
檢測(cè)氣體對(duì)象

臭氧
檢測(cè)范圍

0～10ppm
分辨率

0.01ppm
指示精度

FS±10%以內(nèi)
報(bào)警模式

2段報(bào)警方式
報(bào)警方式

蜂鳴器（間歇

XPS-7半導(dǎo)體材料氣體測(cè)試儀 特長(zhǎng)：
只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)對(duì)象氣體
用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測(cè)器校正
大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間

XPS-7半導(dǎo)體材料氣體測(cè)試儀規(guī)格：

型號(hào)	XPS-7
檢測(cè)原理	定電位電解式
檢測(cè)氣體對(duì)象	臭氧
檢測(cè)范圍	0～10ppm
分辨率	0.01ppm
指示精度	FS±10%以內(nèi)
報(bào)警模式	2段報(bào)警方式
報(bào)警方式	蜂鳴器（間歇音）、報(bào)警燈閃爍
應(yīng)答時(shí)間	60秒以內(nèi)（60%應(yīng)答）
電源	5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC 變壓器
電池使用時(shí)間	連續(xù)12小時(shí)以上
外型尺寸	W762×H150×D128（除去突起物）
檢測(cè)方式	泵吸式
使用溫度范圍	0℃～40℃
重量	約1.3kg
附件	肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙兩張
選購(gòu)件	AC 變壓器、傳感器通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件

檢測(cè)氣體一覽表：

XPS-7對(duì)象氣體一覽表
型號(hào)	氣體	F.S	型號(hào)	氣體	F.S	型號(hào)	氣體	F.S
XPS-7NH	NH3	100ppm	XPS-7GH	GeH4	1ppm	XPS-7HS	H2S	50ppm
XPS-7SH	SiH4	25ppm	XPS-7CL	CL2	5ppm	XPS-7CO	CO	250ppm
XPS-7DC	SiH2CL2	25ppm	XPS-7CF	CLF3	1ppm	XPS-7DS	Si2H6	25ppm
XPS-7AS	AsH3	250ppm	XPS-7HC	HCL	25ppm	XPS-7F2	F2	5ppm
XPS-7PH	PH3	1ppm	XPS-7HF	HF	10ppm	XPS-7OZ	O3	1ppm
XPS-7BH	B2H6	500ppm	XPS-7HB	HBr	10ppm
XPS-7SE	H2Se	250ppm	XPS-7NO	NO	100ppm

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