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HORIBA SEC-N172R 質量流量控制器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-N172R 質量流量控制器
概要
適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
可更改全量程范圍： 25% 到 *
例如： 一顆MFC SEC-N100 Bin-# 4
N2 1000SCCM [ 可控范圍: 20 ~ 1000SCCM ]
我們可將其全量程更改為原標定值的 25％
N2 250SCCM [ 可控范圍: 5 ~ 250SCCM ]
即使在全量程更改后， N100 可控流量范圍仍然為 2%-*
HORIBA SEC-N172R 質量流量控制器