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HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控制器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控制器
概要
適用于多種不同的產業應用?？蓪崿F大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
規格
型號 | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設定流量（設定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設定流量≤30%全流量） | |||
響應速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質 | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質 | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC；常開 NO; 常開 | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數字式通訊協議 | RS-485 | |||
應用市場
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物制藥等行業的氣流測量與控制。
質量流量控制器和質量流量計的區別
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。
質量流量控制器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鐘
SLM–標準立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM
質量流量控制器和質量流量計使用小貼士
- 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線后，確保環境溫度穩定并使其接電預熱15分鐘以上，可有效確保產品精度及穩定性。
- 在安裝過程中，位于MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。
HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控制器