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HORIBA STEC SEC-N100系列產品應用
閱讀：1172 發布時間：2020-5-7
適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
n目前的SEC-Z500X 系列產品主要使用于半導體制程, 而SEC-N100 作為它的重要補充，主要針對非芯片半導體制程而開發。
n同半導體制程一樣，非芯片半導體工藝也已經形成相對統一的制造標準， SEC-N100 系列產品能夠滿足廣大客戶對不同制程規范的要求。
