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超純水機是在純水機的基礎上添加了更多的處理裝置，生產出更高要求的超純水。自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，超純水機的水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到純水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。

超純水機的應用領域：
理化分析的實驗室：理化分析實驗室實驗用純水、超純水系統?？?替代蒸餾水器。

電子、半導體行業：制取電子工業生產如單晶硅半導體集成電路塊，顯象管，玻殼，液晶顯示器等制造工業用純水、超純水機。

醫藥行業用水：制藥、制劑工藝用水，醫療血液透析、生化分析、輸液等。

鍋爐水處理：石油、化工、煉油、火力發電、電力、制取熱力、冶金、食品、造紙等行業中鍋爐，廠礦企業高、中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水。

飲料行業：飲用純凈水、蒸餾水、天然水、礦泉水、礦化水、酒類生產白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過濾等。

賓館、樓宇、社區**供水網絡系統及游泳池水質凈化。

制取電鍍工藝用去離子水、電池（蓄電池）生產工藝的純水，汽車、家用電器、建材產品表面涂裝、清洗純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。

石油化工行業：如化工反應冷卻、化學藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用工藝純水。