產(chǎn)品名稱：北京華測試驗(yàn)儀器四探針測試儀

產(chǎn)品型號：HCTZ-2S

品牌：北京華測

一、產(chǎn)品介紹

HCTZ-2S北京華測試驗(yàn)儀器四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

HCTZ-2S雙電測數(shù)字式四探針試驗(yàn)儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。利用電流探針、電壓探針的變換，采用兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高了精確度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)研究等用途。

四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

測試程序控制四探針試驗(yàn)儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

二、四探針測試探頭

1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承，量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動，持久耐磨，測量精度高、重復(fù)性好。

A.探頭間距1.00㎜

B.探針機(jī)械游率：±0.3%

C.探針直徑0.5㎜

D.探針材料：碳化鎢，常溫不生銹

E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。

2、手動測試架

手動測試架探頭上下由手動操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測試，探針頭可上下移動距離：120mm，測試臺面200x200(mm)。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

HCTZ-2S四探針試驗(yàn)儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用精度高的AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配備不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)
    1.TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)： 光耦與隔離無非是提高儀器的采集的抗擾處理,對于閃絡(luò)放電過程中的浪涌對控制系統(tǒng)的防護(hù)起不到任何作用。
    2.本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置三個數(shù)字表，在測量電阻率的同時，一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全程的電流變化，及時掌控測量電流，一塊顯示2、3探針間的測量電壓，另一塊是顯示當(dāng)前1、4探針測量使用的電壓，可以適當(dāng)調(diào)整測量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測材料。

3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，好地保護(hù)薄膜。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗擾的屏蔽。
    4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金，硬度高、常溫不生銹，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配測量軟件，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。

5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進(jìn)行電壓、電流。

6.儀器通過USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接，軟件可對四探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲格式，顯示變化曲線，兼容性：適用于通用電腦

7.測試系統(tǒng)的軟件平臺hcpro，采用labview系統(tǒng)開發(fā)，符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料的各項(xiàng)測試需求，具備穩(wěn)定性和an全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復(fù)，支持的標(biāo)準(zhǔn)。兼容XP、win7、win10系統(tǒng)。

五、軟件功能

具有試驗(yàn)電壓設(shè)置功能；

可選擇試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

可選擇是否自定義或自動試驗(yàn)

截止條件：時間/電壓/電流;

語音提示:可選擇是否語音提示功能。

統(tǒng)計(jì)報告：可自定報表格式

可生出PDF、CSV、XLS文件格式

分析功能：可對測試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。大/小值、平均值等。

六、技術(shù)參數(shù)

測量范圍

電  阻：1×10-4~2×105Ω，     分辨率：1×10-5~1×102Ω

電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm，  分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm

方  阻：5×10-4~2×105Ω/□，  分辨率：5×10-5~1×102Ω/□

數(shù)字電壓表

量程：20.00mV~2000mV

誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

數(shù)控恒流源

量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A

誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

四探針探頭

碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm，探針壓力：0~2kg可調(diào)

薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)

七、注意事項(xiàng)

1、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作

2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

4、探針筆測試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針

華測儀器-四探針測試儀

華測儀器-四探針測試儀