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利用諧振元件把被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應(yīng)用方面，主要有振弦式壓力傳感器(見振弦式傳感器)、振筒式壓力傳感器(見振筒式傳感器)、振膜式壓力傳感器(見振膜式傳感器)和石英晶體諧振式壓力傳感器(見石英晶體諧振式傳感器)。
諧振式壓力傳感器原理
諧振式傳感器是指利用諧振原理將被測量變化轉(zhuǎn)換成諧振頻率變化的傳感器。基于諧振技術(shù)的諧振式傳感器，自身為周期信號輸出(準(zhǔn)數(shù)字信號)，只用簡單的數(shù)字電路即可轉(zhuǎn)換為微處理器容易接受的數(shù)字信號。諧振式傳感器的重復(fù)性、分辨率和穩(wěn)定性等非常優(yōu)良，又便于和微處理器直接結(jié)合組成數(shù)字控制系統(tǒng)。
諧振式壓力傳感器原理優(yōu)點與應(yīng)用
諧振式傳感器具有體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、分辨率高、精度高 以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲等優(yōu)點。主要用于測量壓力，也用于測量轉(zhuǎn)矩、密度、加速度和溫度等。
諧振式壓力傳感器原理的特征優(yōu)勢
相對其它類型的傳感器，諧振式傳感器的本質(zhì)特征與優(yōu)勢是：
① 輸出信號是周期的，被測量能夠通過檢測周期信號而解算出來。 這一特征決定了諧振式傳感器便于與計算機連接，便于遠距離傳輸;
② 傳感器系統(tǒng)是一個閉環(huán)結(jié)構(gòu)，處于諧振狀態(tài)。這一特征決定了傳感器系統(tǒng)的輸出自動跟蹤輸入;
③ 諧振式傳感器的敏感元件即諧振子固有的諧振特性，決定其具有高的靈敏度和分辨率;
④ 相對與諧振子的振動能量，系統(tǒng)的功耗是極小量。這一特征決定了傳感器系統(tǒng)的抗。
諧振式壓力傳感器原理設(shè)計要點
① 諧振子的選擇及其振動特性(即振動模態(tài)，包括諧振頻率和振 型)的分析、計算，確定諧振子的實際結(jié)構(gòu)、參數(shù)及所敏感的振動特征參數(shù)。這部分工作的核心是建立諧振式傳感器的模型，優(yōu)化出一個高q值、高靈敏度的諧振子;
② 檢測源、激勵源的選擇以及諧振子的配合問題。主要包括它們與諧振子的相對位置的選擇與激勵能量大小的確定;
③ 檢測信號的接收、處理、轉(zhuǎn)換及按幅相條件設(shè)計的。對于靈敏頻率的諧振式傳感器要在滿量程內(nèi)綜合考慮，而敏感幅值比、相位差的諧振式傳感器要合理設(shè)計出“雙閉環(huán)"系統(tǒng)，并選擇好參考位置。
④ 引入恰當(dāng)?shù)难a償機制，解算檢測信號，給出被測量。
