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產品簡介
詳細介紹
海洋光學NanoCalc 薄膜反射測量系統
海洋光學NanoCalc產品特點
可分析單層或多層薄膜
分辨率達0.1nm
海洋光學NanoCalc適合于在線監測
薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。操作理論zui常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。 查找n和k值可以進行多達三層的薄膜測量，薄膜和基體測量可以是金屬、電介質、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數材料的n和k值數據庫，用戶也可以自己添加和編輯。 應用NanoCalc薄膜反射材料系統適合于在線膜厚和去除率測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質上的抗反射涂層、抗磨涂層等。 NanoCalc系統
NanoCalc規格
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