可變形反射鏡介紹

通過我們與Boston Micromachines Corporation（BMC）的合作伙伴關系，Thorlabs很高興能夠為*光學控制提供BMC的Mini-DM和Muti-DM型微機械可變形反射鏡系統。為了幫助安裝和設置，每個包裝都包括、驅動器和控制軟件。這些反射鏡能夠改變形狀，以校正高度畸變的入射波前（參考像差類型標簽了解更多關于DM可校正的像差）。由于多功能性、技術的成熟性及可提供的高分辨率波前校正，微機電（MEMS）是目前使用zui廣泛的波前整形技術。

這些采用多晶硅表面微加工制造方法制造的常用和通用，在易于使用的封裝中提供精細的像差補償。該反射鏡包括由32個靜電驅動器（即對于Mini-DM型，包含四個非活動角落驅動器的6×6驅動器陣列），或140個靜電驅動器（即Multi-DM型，包含四個非活動角落驅動器的12×12驅動器陣列）進行變形的反射鏡襯底，任何一個驅動器都可以單獨控制。這些驅動器在緊湊的區域內提供了3.5微米的行程。此外，包含1020個驅動器的Kilo-DM（即包含四個非活動角落驅動器的32×32驅動器陣列）是由Boston Micromachines Corporation提供的。Kilo-DM驅動器提供1.5微米的行程。與壓電反射鏡不同，BMC反射鏡使用的靜電驅動確保了無滯后的變形。

Mini - DM、Multi-DM和Kilo- DM提供鍍金膜或鋁膜的反射鏡。所有三種型號的產品系列在反射鏡前都有一個6度楔形保護窗，帶有400-1100納米范圍內的寬帶增透膜（請參閱圖標簽獲取鍍膜曲線的信息。如果您對不同鍍膜范圍感興趣，請）。雖然在天文上的應用是*的，但這些微型精密波前控制裝置還可以幫助研究人員在光束成形、顯微鏡、激光通信和視網膜成像等方面取得突破。

為您的應用選擇DM：
理想情況下，需要假定具有與像差輪廓共軛的表面形狀以補償像差。然而，可以通過特定的校正的波前的實際范圍受到驅動器的行程和分辨率、驅動器的數量和分布，以及用于決定DM合適的控制信號的型號的限制；前兩者是本身的物理限制，而zui后一個是使用的控制軟件的限制。

驅動器的行程是DM驅動器的動態范圍（即zui大位移）的另一種表述，通常以微米來衡量。不恰當的驅動器行程會導致性能較差，并阻礙控制回路的匯合。

驅動器的數量決定了發射鏡可以校正的自由度數量。盡管已提出許多不同的驅動器陣列，包括方形、三角形和六角形，但大多數都采用了方形驅動器陣列，可以簡便地在直角坐標系上定位，并且輕松地繪制位于波前傳感器上的方形探測器陣列。為了在圓形孔徑上適應方形陣列，角落驅動器通常是非活動的。

自適應光學：

是構成自適應光學（AO）系統的三種主要組件之一。這種系統用于校正（整形）光束的波前。與波前傳感器和控制軟件一起，DM形成一個能夠實時主動校正相位畸變的閉環系統（要了解更多信息，請點擊自適應光學系統教程標簽）。

傳統上，這些系統用于天文學和美國的國防領域，但它們對于任何能夠從光的相位控制中受益的領域來說都是一種偉大的補充。今天，自適應光學元件的應用已經滲透到眾多領域，包括飛秒激光脈沖整形、顯微鏡、激光通信、視力矯正和視網膜成像等。