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卷對卷連續化生長CVD設備

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更新時間:2024-08-06 09:09:46瀏覽次數:1856

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 電子/電池
此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長爐,它由高溫生長腔體,質量流量計氣路系統,真空機組,RF射頻電源模塊,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動化控制系統組成,兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放卷的密封裝置),收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點。

詳細介紹

1.加熱系統

zui高溫度

1200

使用溫度

≤1100

爐膛有效尺寸

Φ80mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7"工控電腦,內置PLC控制程序。

加熱長度

200+200+200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V50Hz











2、三路質子流量控制系統

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

200sccm,500sccm1000sccm

(可根據用戶要求定制)

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

zui大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

















3、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連






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