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潔凈室檢測常用的儀器儀表

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一般計量儀表的精確度是分級的,對于1級儀表,其誤差限是大量程的1%。例如:對于大量程為100℃的溫度計,其誤差為±1℃;對于大量程為30℃的溫度計,其誤差為±0.3℃。如果被測量的溫度是20℃,使用大量程為100℃的1級溫度計,測得值的相對誤差為±5%;使用大量程為30℃的1級溫度計,測得值的相對誤差為±1.5%。由此可見,使用精確度等級相同的儀表,由于大量程不同,其測得值的相對誤差的差別很大。因為同等精確度下大量程越大誤差越大,所以在可能的條件下應盡量選用量程較小的儀表。
1、溫度計
溫度計有多種,其中玻璃溫度計的可靠性較好。如果潔凈室內使用其他類型的溫度計,應該另外準備一個精確度較高的玻璃溫度計,作為校準其他溫度計的比對性標準器。
(1)玻璃溫度計。玻璃溫度計是根據液體熱脹冷縮原理制造的。常用的液體是酒精或水印。這種溫度計雖然準確可靠,但反應較慢,讀數不直觀,不適合用于自動控制。玻璃溫度計讀數時應注意不能用手直接接觸液體球的外壁,讀數時眼睛應該平視。
(2)數字溫度計。數字溫度計的原理有多種,優點是讀數直觀,適合于自動控制,但有時可靠性較差。
2、濕度計
(1)干濕球濕度計。液體揮發會吸收熱量,致使溫度下降;濕度越低,液體揮發得越快,溫度下降得越多。根據這個原理制造出干濕球濕度計。干濕球濕度計具有結構簡單、價格低廉的優點,但讀數比較麻煩,不適合用于自動控制。
(2)毛發濕度計。毛發濕度計是根據脫脂毛發隨濕度變化而變化的原理制造出來的。指針式的毛發濕度計結構簡單、價格低廉,但不適合用于自動控制。
(3)露點濕度計。露點濕度計的原理是首先測定露點溫度,根據露點溫度對應的飽和水蒸氣分壓力與干球溫度對應的飽和水蒸氣分壓力計算相對濕度。通過直接觀察確定是否結露的準確度較差,根據鏡面反射光的強度確定是否結露的準確度較高。所以有直觀的露點濕度計,還有光電式露點濕度計。使用溫度傳感器測定露點溫度的光電式露點濕度計不僅精確度高,而且可以實現數字顯示。
(4)電容濕度計。電容濕度計的原理是:高分子薄膜吸收或釋放水分子的時候電容值發生變化,測定高分子薄膜的電容值可以確定空氣的濕度。常用的高分子材料是丁酸纖維素。電容濕度計可以用數字顯示濕度,便于監測和控制。
(5)電阻濕度計。電阻濕度計的原理是:金屬氧化物燒結而成的多孔狀陶瓷體或高分子材料吸收或釋放水分子的時候電阻值發生變化,測定該多孔狀陶瓷體或高分子材料的電阻值就可以確定空氣的濕度。用氧化鎳陶瓷制造的濕度傳感器壽命長、穩定性好,應用較廣泛。電阻濕度計也可以用數字顯示濕度,便于監測和控制。
3、氣壓計
(1)U形氣壓計。加入液體后,一頭與大氣連通,另一頭與被測的氣體連通,利用兩個玻璃管中的液面差測量氣壓差。結合已知的大氣壓數值,可得到被測的氣壓值。U形氣壓計中常用的液體是純水、水銀、乙醇等。同樣長度的U形氣壓計,液體的密度越大,量程越大,精確度越低;液體的密度越小,量程越小,精確度越高。所以,應該根據量程和精確度選用適當的液體。
(2)斜管微壓計??梢岳斫鉃閁形氣壓計的變形。一般情況下,U形氣壓計的玻璃管垂直讀數,斜管微壓計的玻璃管傾斜讀數。玻璃管傾斜后,同樣的壓差在玻璃管中顯示的距離較大,讀數的精確度較高。所以與U形氣壓計比較,斜管微壓計的讀數精確度要高一些。
(3)精密微壓計。此儀器結構比較復雜,雖然也是用純水顯示壓力,然而采用放大鏡瞄準、螺紋微調、游標讀數,可以達到更高的精確度。
(4)彈性氣壓計。此儀器是利用物體彈性制造的氣壓計。彈性氣壓計種類繁多,應用范圍廣泛。
(5)壓差計。壓差計與壓力計經常是可以通用的。有時可以測出壓力計算出壓差,有時又可以測出壓差計計算出壓力。U形氣壓計就是一種典型的通過測壓差計算壓力的儀器。
(6)電子壓力計。此儀表一器般是通過壓力傳感器、電子線路和顯示器直接用數字顯示壓力的數值。
4、風速計
(1)熱效應風速計。熱效應風速計分熱線風速計和熱球風速計兩種。這兩種風速計的原理和和結構相似,其特點是靈敏度較高、穩定性較差。
(2)旋翼式風速計。旋翼式風速計有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力較大、靈敏度較低,隨著技術的進步,阻力減小,靈敏度提高,應用范圍越來越大。
(3)氣壓風速計。氣壓風速計的原理是根據氣體的動壓確定風速。一般使用皮托管和微壓計測定氣流的靜壓和全壓,用全壓減去靜壓得到動壓。這種測定方法的可靠性較高,但是比較麻煩,而且要求壓力計的靈敏度較高。
5、風量計
(1)罩式風量計??梢允褂蔑L速計測量風向垂直截面上各點的風速,取平均值乘以截面積得到風量。根據這個原理,將多個風速計組合在一起制造出罩式風量計,可以直接測定風量。
(2)浮子流量計。浮子流量計也稱為轉子流量計,是一種常用的氣體流量計。一般情況下,浮子流量計用于測量中等流量的氣流,如10~500L/min。
(3)皂膜流量計。皂膜流量計也是一種常用的流量計。一般多用于測量小流量的氣流。
6、聲級計
聲級計是根據聲音振動的能量確定噪聲的聲級,其顯示方式有指針式和數字式兩種,新制造的多是數字式。
7、照度計
照度計根據照射到的光的能量確定照射光的強度,一般用數字顯示照度值。

 

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