中試裝置的作用在于對半導體前驅體的生產工藝、產品性能等進行中間規模的試驗和驗證。通過中試，可以進一步優化生產工藝參數，評估產品的質量和穩定性，以及考察其在實際生產中的可行性和可擴展性。
這些中試裝置的建設和運行，有助于推動半導體前驅體材料的研發和產業化進程，滿足半導體行業不斷發展對先進材料的需求。同時，也有利于打破國外技術壟斷，提升我國在半導體領域的整體競爭力。
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