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主要用于觀察細小物體的形狀, 測量細小物體的大小, 由于配備了各種可變長焦距的鏡頭, 可以觀察并記錄細小物體的變化情況, 放大倍數可達準納米級，比如結晶過程, 高分子在電場下的鏈結, 細胞的變化等。顯微測量系統對半導體、液晶、石油，印染，醫藥，噴涂，選礦等行業的科研生產有非常重要的作用。另外根據客戶的需求可將光學系裝于流水線及機器中，用于生產監控。