XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺基于與伺服控制技術相互兩全的高性能控制平臺。

可對應定位精度、速度穩定性、長行程、客制品等各種要求。

也可構建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）軸平臺。

行程100-21300mm.

XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺結構緊湊、低組裝，大中空孔，高動態性和優異的幾何性能。

平臺從需要高動態性和微米級直線度的雙面晶圓加工，到由DX B、ARC無鐵芯電機驅動的準靜態光學量測,需要高精度和精確的幾何性能。

應用場景

對位平臺

XYθ對位平臺

UVW對位平臺

對位系統

網印視覺對位

COG視覺對位

切割對位系統

曝光對位系統

貼合機對位系統

裝配視覺對位

該平臺屬于LMH三軸平臺系列，具有高分辨率，高重復定位精度，廣泛應用于光學測量儀器，晶圓對準，LCD面板檢測，半導體處理，激光切割和鉆孔，復合機等.