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巴魯夫傳感器在真空應用的高精度解決方案
閱讀：466 發布時間：2018-4-16真空應用的高精度解決方案
為了在高真空、超高真空和超高純真空中直接使用，需要具有特殊設計的傳感器。我們為此提供具有密封功能的擰入式規格以及適合安裝在高真空中的高精度光電傳感器。這時信號通過“直通”解決方案通過電導線的電纜套管從真空腔中引出。
負載鎖定系統的兩個備選參考光柵
解決方案 – 版本1
我們的光電傳感器BOH提供一個用于實現晶片定心參考光柵的版本。它們作為擰入式規格在具有密封功能的堅固不銹鋼殼體中提供，通過帶小光點的微型透鏡工作。可通過外部放大器舒適地進行精調。
特點
- 擰入式規格
- 具有密封功能的堅固不銹鋼殼體
- 帶小光點的微型透鏡
- 適合低至1x10-9 mbar的真空應用
- 配備外部放大器，遠程校準簡單
解決方案 – 版本2
另外我們的光傳感器或帶集成式微型鏡頭的一次性光柵BOH可供使用，我們樂意根據您的個性化要求對它們進行匹配。
特點
- 用于您的個性化背景的集成式微型透鏡
- 適合至1x10-9 mbar的真空應用
在嚴苛的環境下時也能可靠識別晶片
解決方案
巴魯夫的光電傳感器BOH甚至能夠通過真空腔上狹窄的殼體通道可靠檢查晶片的有無情況。它們具有帶小光點的微型透鏡。我們可按照您的個性化設計規定實現密封功能。
特點
- 帶小光點的微型透鏡
- 具有密封功能的堅固不銹鋼殼體符合個性化設計規定
- 適合低至1x10-9 mbar的真空應用
- 配備外部放大器，遠程校準簡單