主要技術資料：

測量參數：R（直流電阻），I（直流電流），ps（表面電阻率），pv（體電阻率）

數學功能：偏差和百分偏差

顯示數字：3，4或5位（可選擇）

測試電壓：0.1～1000Vdc

0.1～200Vdc時，以0.1V步進

0.1～1000Vdc時，以1V步進

電壓精度：≤200V時為0.16％+100mV

＞200V時為0.16％+500mV

電流：≤100V時為10mA；≤250V時為5mA

≤500V時為2mA；≤1000V時為1mA

電流相容性調定：0.5mA，1mA，2mA，5mA，10mA

輸出電阻：1KΩ±10％

輸入電阻：1KΩ±10％

測試電纜長度：2m　（值）

測量范圍和精度：

直流電流：60fA～100uA基本精度：±0.4％

直流電阻：1×103～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％

測量時間：短：10ms；中：30ms；長：390ms

修正功能：

開路誤差為0：消除由測試夾具中雜散寄生電阻引起的測量誤差

測試序列程序：控制一系列電阻測量。充電時間、測量間隔時間和測量次數可以編程。

比較功能：對測量參數設立高/符合/低界限