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| 供貨周期 | 現貨 |
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產品簡介
詳細介紹
產品描述
CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯由復合結構的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統（SDS）的過濾。其梯度設計使其能夠很好地應對化學機械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰。錐形孔結構使CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯在優秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實現了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿足多種不同的CMP應用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線CMP等。
產品特點
梯度過濾結構，確保濾芯的過濾效率
銳利的效率曲線，顯著提升尺寸過大顆粒的去除率，同時減少有效顆粒的去除
優化使用壽命，降低成本
制造過程中不添加表面活性劑和粘結劑，減少析出
典型應用
產品保證
工作特性
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精度 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm | |
| 尺寸規格 | 外徑 | 64mm |
| 長度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
| 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) | ||
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
產品尺寸
流量-壓差曲線圖
