高純氣體的分析是一個復雜的過程，不僅需要高靈敏度的檢測器，還需要樣品本身的特性和背景，如吸附、取樣和分析過程中是否有空氣混入，系統、系統的死體積等環節。氦離子氣相色譜儀已成為國內專業的高純氣體分析系統，并順利完成分析氣體中的微量雜質，尤其是ppb級雜質。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業氣體中痕量雜質的檢測，檢測濃度為5ppb。儀器配備高靈敏度氦電離檢測器，進樣閥配備吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校準系統，保證不同背景氣體樣品的進樣量。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氫氣、氧氣、氬氣、氮氣、氦氣、氖氣、氪氣、氙氣、二氧化碳等氣體中微量雜質的檢測。儀器配備高靈敏度氦電離（PDHID）檢測器，采用中心切割反吹掃技術，配備帶吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣凈化器。通過無死體積采樣或在線采樣，一次性完成上述高純氣體中H2、O2(AR)、N2、CH4、Co、CO2或C1-C4等碳氫化合物等常見雜質的檢測，具有檢測限達到ppb級，重復性RSD≤1%。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業氣體中微量雜質的檢測。以氣相色譜儀為載體，配備氦電離（PDHID）檢測器；采用四閥五柱中心切割反吹掃技術。取樣、切換閥均為六通或十通閥，帶吹掃保護氣路，以上部件與氦氣凈化器和死體積取樣閥一起構成了一套完整的高純氣體分析解決方案。
