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技術文章

空氣潔凈度等級標準

點擊次數:7107 發布時間:2010-2-1

ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個*指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。

根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

空氣潔凈度分級標準: ISO14644-1 (標準)

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

       

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

 

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

 

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

 

35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。

 

空氣潔凈度分級標準: GB/T16292-1996 (中國標準)

粒徑、數值潔凈度級別

塵埃zui大允許數/立方米

微生物zui大允許數

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 級

3,500

0

5

1

10,000 級

350,000

2,000

100

3

100,000 級

3,500,000

20,000

500

10

300,000 級

10,500,000

60,000

15

 

美國聯邦標準 209D 潔凈室分級:(已停用)

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

5 um

1

35

7.5

3

1

 

10

350

75

30

10

100

 

750

300

100

1000

     

1000

7

10000

     

10000

70

100000

10000

700

 

英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級:

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0

   

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

 

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

 

35000

200

0

J

 

350000

2000

450

0

K

 

3500000

20000

4500

500

L

   

200000

45000

5000

M

 

450000

50000

 

各種標準的比較:

美國聯邦

美國聯邦

英國標準

澳大利亞標準

法國標準

德國標準

標準

日本標準

標準 209D

標準 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

           

1

1

       

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

   

M

   

7

9

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