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產品簡介
詳細介紹
德國IFG 掃描電鏡微區X射線熒光分析系統iMOXS-SEM
*實現在掃描電子顯微鏡上安裝聚焦X射線微區熒光分析! SEM能譜分析和微區X射線熒光的優缺點 Ø SEM能譜分析的特點: Ø 空間分辨率相對較高: 亞微米級 Ø 檢測極限在百分比級: 1~0.1%（weight）. 不適合分析微量元素. Ø 電子束韌致輻射（bremsstrahlung）造成譜背底很大 X射線激發熒光分析的特點: Ø 檢測極限提高20~50倍, 可達到<50ppm Ø 激發深度可達幾十微米, 特別適合多層鍍層的分析 Ø 非導電材料可直接分析 Ø 空間分辨率較差, 約幾十微米 Ø 結合SEM能譜和X射線熒光兩個譜, 可以大大提高分析的精確度. iMOXS.SEM系統由以下單元組成: - 小功率﹑空冷的微型聚焦X射線管（陽極材料有多種選擇） - 聚焦型多毛細管X射線光學系統 - 掃描電鏡接口和對中法蘭 - 高壓控制器和電源單元（可選手動控制型或PC控制型） - iMOXS-Quant軟件包, 包括儀器控制﹑譜圖定性和定量分析等模塊
-提高微量元素分析的靈敏度
-更大的信息深度, 有益于鍍層厚度分析
-將電子束微束分析和微區X射線熒光分析結果相結合, 顯著改善分析的精度
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