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華宇凈化談?wù)劅o(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染的幾項(xiàng)基本原則

閱讀:389        發(fā)布時(shí)間:2019-6-3

華宇凈化談?wù)劅o(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染的幾項(xiàng)基本原則

 

 

 

 

 

 

   無(wú)塵室(Clean Room)是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣和細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而特別設(shè)計(jì)的房間。使用過(guò)濾器,就可以使無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度達(dá)到零水平,保證產(chǎn)品的質(zhì)量。實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng),由于作業(yè)者、機(jī)器和周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在生產(chǎn)產(chǎn)品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。那么,無(wú)塵室內(nèi)該如何避免這種微粒子污染呢?可以從以下幾個(gè)方面入手:

 

 

 

無(wú)塵室


 

 

 

      1、不攜入
      在無(wú)塵室內(nèi),要想不攜入微粒子,需要遵守以下規(guī)則:
      1)作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前,機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。
      2)進(jìn)入無(wú)塵室的相關(guān)人員,在更衣室要穿著防靜電服等。
      3)通過(guò)風(fēng)淋室時(shí),利用高速干凈空氣,除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無(wú)塵室。
      4)機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下。帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后,用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
      5)無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽,佩戴附有過(guò)濾器的排氣用小型風(fēng)機(jī)于腰間。  

     

 

 

2、不發(fā)生
      不但要控制操作人員在無(wú)塵室內(nèi)微粒子的發(fā)塵量,也應(yīng)該控制制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到極小限度應(yīng)采取以下方法:
      1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)。
      2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)。
      3)采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油。
      4)機(jī)臺(tái)應(yīng)用非接觸化工作原理。

  

 

 

    3、不儲(chǔ)備
      若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù),無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng),在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用,以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起,增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。
      在*等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻,因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話,容易產(chǎn)生空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排,長(zhǎng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內(nèi),而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。
      控制氣流可防止微粒子累積,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。
      為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并借助除電裝置進(jìn)行除電。

  

 

 

 

 

    4、排除/除去
      在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中,為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接對(duì)外排氣,即所謂的局部排氣。
      總之,無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染,既要從技術(shù)角度入手,也要操作人員按規(guī)范操作,才能較大限度地保證無(wú)塵室潔凈的工作環(huán)境。

 

 

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