光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器，是一種利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。它廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，用于檢測(cè)刀具和工件的坐標(biāo)，觀察和跟蹤走刀誤差，以補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差。光柵尺通過(guò)光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)高精度的距離測(cè)量和角度測(cè)量，被廣泛用于數(shù)控機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等領(lǐng)域。其工作原理基于光學(xué)干涉，當(dāng)光線照射到光柵條上時(shí)，會(huì)形成一系列亮暗相間的光斑，這些光斑經(jīng)過(guò)讀取頭轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，最后信號(hào)處理器接受這些數(shù)字信號(hào)，再根據(jù)不同的處理算法，實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量，例如線性測(cè)量、角度測(cè)量、速度測(cè)量等。

光柵尺的優(yōu)點(diǎn)包括測(cè)量精度高、分辨率高、可靠性高、反應(yīng)速度快，可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的測(cè)量精度，適用于超高精度加工和測(cè)量領(lǐng)域。此外，光柵尺還具有很高的工作速度，可以在微秒或者毫秒級(jí)別內(nèi)完成一次測(cè)量，這使得它適用于高速運(yùn)動(dòng)設(shè)備的控制和反饋。光柵尺的分辨率通常在亞微米級(jí)別，常見(jiàn)的分辨率包括1微米、0.5微米、0.1微米等，一些特殊應(yīng)用可能使用更高分辨率的光柵尺，如0.01微米甚至更小。光柵尺的精度可以達(dá)到分辨率的十分之一到百分之一左右，即使在長(zhǎng)距離測(cè)量中也能夠保持較高精度。?