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1、X射線管：儀器的一部分，產生照射樣品的X射線。

2、光圈：光圈是引導X射線指向樣品的裝置的第一部分。XRF儀器中的光圈將決定光斑尺寸——正確的光圈選擇對精密度和測量效率至關重要。

3、探測器：與相關電子設備一并處理從樣品中激發出的X射線：探測X射線的能量和強度。

4、對焦系統：確保每次測量中X射線管、零部件和探測器間的X射線可測量且幾何光路連續一致；否則會導致結果不準確。

5、相機：幫助用戶精確定位測量區域。某些情形下相機用于向自動操作模塊提供圖像信息，或包括放大圖像以精確定位需要測量的區域。

6、樣品臺：樣品可放置于固定或可移動的樣品臺上。快速或慢速移動對于找到測試位置至關重要，隨后聚焦于準確的區域進行測量。工作臺移動的精準度是帶來測試定位準確的一個因素，并進而貢獻于儀器的整體準確度。

 
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