CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500SB

CV-4500H8

CV-4500W8

測量范圍

X軸

100MM

200MM

Z1軸（檢出器）

60mm(水平位置±30mm)

Z2軸（立柱）移動范圍

300mm

500mm

300mm

500mm

Z1軸

（檢出器）

光柵尺類型

弧形

分辨力

CV-3200系列；0.04μm，CV-4500系列；0.02μm

測針上/下運作

弧形移動

測量方向

向前/向后

測針方向

CV-3200系列：垂直方向（向上/向下單獨測量）

CV-4500系列：垂直方向（向上/向下根據配重調整）

測力

CV-3200系列：30mN（上下可連續測量）

CV-4500系列：10，20，30，40,50mN（根據軟件轉換）

跟蹤角度

向上：77°，向下：83°（根據表面粗糙度，使用標準單切面測針*1）

驅動部

長度基準

X軸

激光全息光柵尺

Z2軸（立柱）

ABS光柵尺

分辨力

X軸

0.05μm

Z2軸（立柱）

1μm

驅動速度

X軸

0-80mm/s 外加手動

Z2軸（立柱）

0-30mm/s 外加手動

測量速度

X軸

0.02-5mm/s

直線度*2

X軸

0.8μm/100mm

2μm/200mm

傾角范圍

X軸）

±45°

精度

（20℃）

CV-3200系列

X軸

±（0.8+0.01L）μm   L=驅動長度（mm）

寬范圍：1.8μm/100mm

窄范圍：1.05μm/25mm

±（0.8+0.02L）μm   L=驅動長度（mm）

寬范圍：1.8μm/200mm

窄范圍：1.3μm/25mm

Z1軸

（檢出器）

±（1.6+（2H）/100）μm   H=水平位置上的測量高度（mm）

CV-4500系列

X軸

±（0.8+0.01L）μm   L=驅動長度（mm）

寬范圍：1.8μm/100mm

窄范圍：1.05μm/25mm

±（0.8+0.02L）μm   L=驅動長度（mm）

寬范圍：1.8μm/200mm

窄范圍：1.3μm/25mm

Z1軸（檢出器）

±（0.8+（2H）/100）μm   H=水平位置上的測量高度（mm）

外形

尺寸

主機*3

756*482*966mm

756*482*1166mm

1156*482*1176mm

766*482*966mm

766*482*1166mm

1166*482*1176mm

重量

主機

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg