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類型 8626

氣體質量流量控制器 (MFC)

• 標稱流量范圍從 20 lN/min 至zui高 1500 lN/min
• 測量精度和重復性高
• 調控速度快
• 防護等級 IP65
• 選配：現場總線接口

  

  類型 8710

  氣體質量流量控制器 (MFC)

• 標稱流量范圍從 0.005 lN/min 至 15 lN/min
• 測量精度和重復性高
• 適用于腐蝕性氣體
• 選配：現場總線接口

  

  類型 8711

  氣體質量流量控制器 (MFC)

• 標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測量精度和重復性高
• 調控速度特別快
• 選配：現場總線接口

  

  類型 8712

  氣體質量流量控制器 (MFC)

• 標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測量精度和重復性高
• 調控速度特別快
• 防護等級 IP65
• 選配：現場總線接口

  

  類型 8713

  氣體質量流量控制器 (MFC)

• 標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測量精度和重復性高
• 調控速度特別快
• 通過 RS485 進行數字通信
• 緊湊型版本

  

  類型 8715

  氣體質量流量調節器 (Mass Flow Controller)

• 采用毛細管技術的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
• 適合侵蝕性氣體
• 緊湊型版本和數字通訊

  

  類型 8741

  適用于氣體的質量流量調節器 (MFC)/質量流量計 (MFM)

   篩選器

• 采用 MEMS 技術直接測量流量
• 測量和重復精度高
• 反應時間非常之短
• 現場總線通信基于 CANopen