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S48 28/HMT
?可以任意角度安裝
?良好的線性——多段線性補償
?快速的響應
?電磁閥使用壽命≥100萬次
?對零點漂移有效的抑制
?化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
?良好的選擇性
HORIBA-METRON質量流量控制器
產品簡介
詳細介紹
HORIBA-METRON質量流量控制器S48 28/HMT
· 可以任意角度安裝
· 良好的線性——多段線性補償
· 快速的響應
· 電磁閥使用壽命≥100萬次
· 對零點漂移有效的抑制
HORIBA-METRON質量流量控制器
· 良好的選擇性
編號
項目
S48 28/HMT
1
流量規格
(100,150,200)L/min
2
調節閥類型
電磁調節閥
3
調節閥靜止狀態
常閉
4
安裝角度
任意
5
流量控制范圍
5%～*
6
流量測量范圍
0～*
7
響應時間
2s（T98，設定值的±2% F.S.）
8
工作環境溫度
5℃～50℃
9
精度保證溫度
15℃～35℃
10
精度
±1.0%F.S.
11
線性精度
±0.5%F.S.
12
重復性
±0.2%F.S.
13
工作壓差
（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
14
耐壓
3MPa
15
泄漏率
1×10-8 Pa•m3/s （He）
16
接觸氣體材料
316L,PTFE,Viton氟橡膠
17
管路接頭
Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18
供電電源
±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA+24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供電時)19
設定信號
(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20
流量輸出信號
(0～5)VDC 負載能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15,D-SUB9
22
重量(kg)
2.8
- S48 28/HMT 安裝尺寸圖：
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HORIBA-METRON質量流量控制器