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氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要分類
層流式質(zhì)量流量計(jì)
層流式質(zhì)量流量計(jì)利用層流元件內(nèi)兩端壓力差來(lái)測(cè)量流體的質(zhì)量流量。處于湍流狀態(tài)的流體經(jīng)過(guò)層流元件時(shí)，通過(guò)縮小層流片間距及改變流體速度使之作層流運(yùn)動(dòng)，壓差傳感器測(cè)得層流片內(nèi)兩端壓力差，由此便可通過(guò)泊肅葉定律計(jì)算得出體積流量，再由已知溫度和壓力下的修正密度換算成質(zhì)量流量。
如ALICAT一系列氣體質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器、水流量計(jì)&水流量控制器均采用層流壓差技術(shù)。
熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式流量計(jì)通過(guò)熱量變化來(lái)測(cè)量流體的流量，通常有兩種方法。*種方法是測(cè)量保持加熱元件溫度不變所需要的電流 ，流體流經(jīng)加熱元件時(shí)，與其相接觸的氣體微粒將帶走其表面熱量，當(dāng)流量增大時(shí)，所需要的保持加熱元件溫度不變的電流也越大，該電流與質(zhì)量流量成正比。另一 種方法則是測(cè)量加熱元件或火線兩端的溫度，流體通過(guò)加熱元件時(shí)會(huì)帶走其表面熱量，所以加熱元件前端的溫度要高于后端，其兩端溫差與流經(jīng)流體的質(zhì)量流量成比例。
科里奧利質(zhì)量流量計(jì)
科里奧利流量計(jì)利用科里奧利效應(yīng)來(lái)測(cè)量流體的質(zhì)量流量。使流體通過(guò)一根或兩根并排U形管，振動(dòng)U形管，作用于流體微粒上的科里奧利效應(yīng)力與振動(dòng)及流動(dòng)方向 垂直。當(dāng)管子向上振動(dòng)時(shí)作用于向下，但由于流體溢出U形管其作用力向上，于是產(chǎn)生了扭矩；管子向下振動(dòng)時(shí)則反之。U形管內(nèi)的扭矩與通過(guò)流體的質(zhì)量流量直接成正比。
如RTF質(zhì)量流量計(jì)就是此類型的氣體質(zhì)量流量計(jì)。