薄膜熱物性基本測量單元 ：
測量室，真空泵，帶加熱器的支架，電子頰側裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件，計算機和應用軟件。可測以下物理參數：
l -熱傳導系數 (穩態法/平面內方向)
r - 電阻率
s - 電導率
S - 賽貝克系數
e – 發射率
cp - 比熱容
磁測量單元
可根據需求選擇集成式電磁鐵，可測物理參數如下：
AH - 霍爾常數
μ –遷移率
n -載流子濃度
薄膜材料性能有別于塊體材料之處
- 因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如：邊界散射和量子限域效應
薄膜熱物性系統主要特點：
高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜測試)。
不同溫度下的測量(-170 to 200℃<-可選300℃>)
樣品易于制備和處理
高的測量適應性 (樣品厚度，電阻率，沉積方式)
一個樣品，一次同步測量即可獲得所有相關參數。
適用于金屬、陶瓷及有機材料。
16
化工儀器網