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三維非接觸輪廓儀(3D Profiling)
  • 三維非接觸輪廓儀(3D Profiling)
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更新時間:2024-09-16 21:00:06

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儀器特點
1. 快速非接觸技術;
2. 經濟的設計;
3. 不需要樣品準備;
4. 高Z軸動態范圍(zui大27毫米);
5. 高Z軸分辨率(zui小2納米);
6. 粗糙或拋光表面均可測量;
7. 透明或不透明物體均可測量;
8. 大范圍材料種類均可測量(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…);
9. 大尺寸樣品、旋轉樣品臺及其他客戶要求選配;
 
儀器介紹
我司代理的非接觸輪廓儀使用白光及*的彩色象差技術,粗糙度測量遠優于激光技術,采樣速度可達4000Hz,zui大27毫米的Z軸動態范圍確保給出測試樣品的*三維圖像。彩色象差技術的優勢還體現在高傾斜角度及低反射率的表面測量,因此與普通的白光干涉技術相比該儀器應用范圍很廣。
與系統匹配的軟件包含參數設定(如掃描尺寸、線數、步進、轉換臺速度、數據采樣速度、選擇探針等)和數據后處理功能(如Abbott-Firestone曲線、快速傅立葉變換、自相關功能、三維成像、二維切片成像等)。
 
儀器規格
X & Y馬達平臺工作范圍
150毫米(其他尺寸可按要求定做)
Z軸范圍
20毫米(內置手動千分尺調節工作距離,馬達自動調節選配)
zui大數據采集速度
zui大30,000數據點/秒
zui大X,Y軸向速度
20毫米/秒
 
測量范圍
工作距離(mm)
軸向分辨率,精度(nm)
斑點直徑(µm)
橫向分辨率(µm)
zui大傾斜角度**
zui小測量厚度(µm)
20µm
0.37
2, 10
3
1.5
48°
12
130µm
3.3
5, 20*
2*
1.1*
43°
7*
300µm
5.68
10, 90
7.4
3.7
25°
25
350µm
12.7
10, 60
7
3.5
27°
25
400µm
11
12, 60
2.6*
1.3*
28°
15*
1mm
23.9
30, 300
14 6
6
24°
23
1.2mm
12.7
25, 200
4
2
27°
25
3mm
26.9
100, 600
25
12.5
12°
220
3.5mm
16.4
75, 400
8
4
22°
60
10mm
66.9
300, 900
51
25.5
12°
425
12mm
29
280, 900
16
8
14°
200
24mm
222.3
1500, 3000
100
50
1570
27mm
19.6
600, 3000*
16
8
8.6°
590
2 - 100µm
(干涉測量法)
42
10, 100
20
10
7
2
  *理論數據    **zui大傾斜角度可達到80°
 
儀器部分三維圖像或數據
 
hspace=0
hspace=0
   左圖)
一角硬幣三維形貌        
       
 
   右圖)
紙的三維形貌
 
 
 
hspace=0
hspace=0
                                       
 
 
      
 
 
 
 
      上圖) 不銹鋼粗糙度                             上圖) 陶瓷表面形貌

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