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納米(微米)壓痕/劃痕測試儀

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更新時間：2024-09-16 21:00:06

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產品簡介詳細介紹

儀器特點

1) 多頻率壓痕測試 – 這種技術對于塑料高分子、MEMs等黏彈性受頻率影響的材料變形研究非常有用，提供材料納米壓痕試驗全頻率范圍的黏彈性響應；

2) 深至15nm的硬度&楊氏模量測試；

3) Windows XP環境下自動操作；

4) Spherical, Vickers及Berkovich納米壓痕測試；

5) 材料黏彈性的動態機械分析；

6) 潛變、疲勞、斷裂剛性測試；

7) 壓痕的分布地圖繪制(Mapping)；

8) 選配的高低溫測試；

9) AFM/SPM成像用于納米尺度壓痕圖像觀測；

10) 可以升級增加納米(微米)劃痕、微米硬度測試模塊功能；

納米壓痕試驗儀規格
zui大壓痕深度	4µm & 25µm自動距離修正(1000µm可選配)
深度分辨率(理論)	0.006nm
深度分辨率(防振臺＊)	0.5nm
zui大負載	50mN & 500mN自動距離修正
負載分辨率(理論)	0.08µN
負載分辨率(防振臺＊)	1µN
X-Y運動范圍	200 x 100毫米
X-Y橫向分辨率	0.15µm
Z向馬達	90毫米
物鏡鏡頭	標準: 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x)
＊依賴實驗室環境

應用領域

半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；

存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；

光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層)；

金屬蒸鍍層；

防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；

藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；

工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)；

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