激光直寫技術是一種近年來應用廣泛的超精密加工技術。該技術是一種利用強度可變的激光束，在基片表面實施有規則的高精度掃描。在掃描過程中，光刻基片隨載物平臺而運動。因此影響光刻元件的質量取決于載物平臺的定位精度以及運動的穩定性，影響光刻元件的快速性取決于系統的響應度。
基于數字式伺服的運動控制器是超精密定位系統的關鍵。由于數字伺服濾波器是數字式伺服的運動控制器的核心，從而數字伺服濾波器的設計將影響系統的定位精度。
數字伺服濾波器是指系統的閉環控制與調節采用數字技術，所有控制調節實現軟件化。調節器的全部軟件化使控制理論中很多控制思想和手段得以應用。同時利用軟件很容易完成參數的自由化和故障的自診斷功能，使系統控制性能大大提高，從而克服了模擬型閉環伺服系統對微弱信號的信噪難分離、控制精度難提高、容易受機械摩擦和溫度影響，位置環控制產生零點漂移誤差等缺點。
在位置PID調節器中比例增益Kp的大小決定系統的快速性，積分增益Ki的作用是消除系統的靜態誤差。微分增益Kd的作用是增加阻尼，減少振蕩。調節過程是先調節Kp，再調節Ki，然后調節Kd。第1次設定Ki增益時，如果把Ki設定為一非O值將引起突然的“跳躍”。為避免這種情況，需要把積分限(積分部分的飽和控制器)設置為0，Ki設定為期望值，再設置積分限到期望的積分限。這樣就清除了所有以前的積分值，從而使積分從前一個點開始平穩運算。接著調節Kvff，Kaff，從而提高系統的穩態精度。最后調節Kf，從而克服摩擦力的影響。
激光直寫在啟動階段調節Kvff，Kaff過大會使速度過快而導致位置過沖。在減速階段調節Kvff，Kaff過小，會使定位時間過長。根據*控制思想，如果系統按照最大加速度啟動，最大速度運動，最大減速度制動，就可以以最短時間無超調地達到協調點。因此，參數調節時應按照啟動，勻速，減速3個階段分別設置。
7
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務