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賽默飛測量控制與材料鑒別

透射電鏡的工作原理及組成部分

時間:2023-2-21 閱讀:1268
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   為幫助研究人員在低束流條件下更快速地獲得各類型樣品(包括電子束敏感材料)的二維和三維化學信息,我們在Talos F200i掃描透射電鏡(S/TEM)中加裝了一對對稱設計的100 mm2 Racetrack能譜儀(雙X射線)。這一更新突破了使用非對稱EDS難以獲得有效定量數據的瓶頸,并能讓科研工作者以更快的方式在(亞)納米尺度對材料進行表征。

 


   工作原理:
   透射電鏡和光學顯微鏡的各透鏡及光路圖基本一致,都是光源經過聚光鏡會聚之后照到樣品,光束透過樣品后進入物鏡,由物鏡會聚成像,之后物鏡所成的一次放大像在光鏡中再由物鏡二次放大后進入觀察者的眼睛,而在電鏡中則是由中間鏡和投影鏡再進行兩次接力放大后最終在熒光屏上形成投影供觀察者觀察。
   TEM系統由以下幾部分組成:
   1、 電子槍:發射電子。由陰極,柵極和陽極組成。陰極管發射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,經陽極電壓加速后射向聚光鏡,起到對電子束加速和加壓的作用。
   2、 聚光鏡:將電子束聚集得到平行光源。
   3、樣品桿:裝載需觀察的樣品。
   4、物鏡:聚焦成像,一次放大。
   5、中間鏡:二次放大,并控制成像模式(圖像模式或者電子衍射模式)
   6、投影鏡:三次放大。
   7、熒光屏:將電子信號轉化為可見光,供操作者觀察。
   8、 CCD相機:電荷耦合元件,將光學影像轉化為數字信號。

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