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產地類別 | 國產 |
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貨號:ZH9054
產品簡介:
半導體電阻率測試儀是根據四探針原理,適合半導體器材廠,材料廠用于測量半導體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經過對用戶、半導體廠測試的調查,根據美國ASTM標準的規定,在電路和探頭方面作了修改和,適合于半導體器材廠檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。
半導體電阻率測試儀指標:
測量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω
半導體電阻率測試儀可測半導體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm;
長度:150mm(可擴展500mm)
測量方式:軸向、斷面
數字電壓表:
量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V
測量誤差:±0.3%讀數±1字
輸入阻抗:大于108Ω
顯示3 1/2 位紅色發光二管(LED)數字顯示
0---1999具有性、過載、小數點、單位自動顯示
恒流源:由交流供電
直流電流:0—100mA連續可調
量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
電流誤差:±0.3%讀數±2字
電性能模擬考核誤差:<±0.3%ASTM指標
測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% ASTM 指標
電源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W
電氣箱外形尺寸:119×440×320mm