聯(lián)系電話
北京中慧天誠(chéng)科技有限公司
中級(jí)會(huì)員·16年
射頻CCP薄膜沉積裝置 型號(hào)：ZH5494
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
- 品牌
- 其他 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：736更新時(shí)間：2024-11-23 07:58:17
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
- 聯(lián)系人：
- 張先生
- 電話：
- 010-89942170/89942167
- 手機(jī)：
- 15652257065
- 售后：
- 010-89942167
- 傳真：
- 010-89942170
- 地址：
- 北京市石景山區(qū)城通街26號(hào)
- 個(gè)性化：
- www.zhonghuibj.com
- 網(wǎng)址：
- www.centrwin.com
掃一掃訪問(wèn)手機(jī)商鋪
產(chǎn)品介紹
| 射頻CCP薄膜沉積裝置 型號(hào)：ZH5494 | 貨號(hào)：ZH5494 |
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 本裝置主要由薄膜沉積室、真空抽氣系統(tǒng)、氣源進(jìn)氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、襯底加熱溫度控制系統(tǒng)等部分組成。 通過(guò)本實(shí)驗(yàn)裝置可以掌握CVD（化學(xué)氣相沉積）；理解CVD的成膜過(guò)程及要求，化學(xué)輸運(yùn)反應(yīng)的原理，等離子燒結(jié)車掃描測(cè)溫云臺(tái)體CVD的原理、特點(diǎn)及等離子體的激勵(lì)方式；了解該在電學(xué)、光學(xué)、微電子學(xué)等領(lǐng)域的廣闊應(yīng)用前景。 可開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn) 1、P型微晶硅材料及在薄膜太陽(yáng)能電池上的應(yīng)用； 2、硅系納米復(fù)合薄膜材料PCVD法制備； 3、電容耦合/電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積制備種功能薄膜。 主要參數(shù) 1、薄膜沉積室：由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成；尺寸：Φ220×H230mm； 2、薄膜沉積室本底真空： ≤1Pa； 3、射頻耦合方式：電容耦合/電感耦合；射頻源功率：帶500W 13.56MHz； 4、氣路系統(tǒng)：表面粗糙度樣板 由三路轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制（可選配流量計(jì)）； 5、襯底加熱溫度：室溫至300℃可控； 6、平行板電：Φ70mm； 7、工作反應(yīng)氣體：由電板上微孔均勻?qū)耄?br /> 8、真空抽氣系統(tǒng)：2XZ-4型旋片機(jī)械泵，4L/S，單相220V交流電源供電； 9、管道、閥門：材質(zhì)使用不銹鋼和金屬波紋管； 10、對(duì)過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施； 11、供電電源：AC220V，50Hz，整機(jī)功率2KW。 www.ghitest.com |  |
