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上海廣樹機電有限公司

蘇州橫河電磁流量計,高精度退火爐,川儀橫河差壓變送器

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供求商機

GS-30-700-廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機

  • 發(fā)布日期:
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  • 2025年3月11日
  • 2025年9月11日
  • 上海上海市
  • 蘇州
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【產(chǎn)品簡介】

廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料
主要用途
適用于模壓非球面光學玻璃鏡片的碳鍍膜工藝
適應于半導體行業(yè)晶圓表面薄膜生長;
可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝


【詳細說明】

廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機特點

采用隔板設(shè)計批量處理模壓光學鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數(shù)千個鏡片

智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進氣程序,操作簡單方便

優(yōu)質(zhì)干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產(chǎn)干式泵和進口干式泵

智能化CVD進氣控制系統(tǒng),適應于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合

先進的密封系統(tǒng),泄漏率低,長期使用穩(wěn)定性高;

廣樹CVD模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料

主要用途

適用于模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜工藝

適應于半導體行業(yè)晶圓表面薄膜生長

可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:GS-30-700廣樹      

最高溫度 700℃;

使用氣氛: 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體

長期使用:400-700℃;

動 度: ±1℃;

顯示精度: 0.1℃;

勻 度: 容積30L

進氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計控制,一路浮子流量計控制;

升降系統(tǒng) 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺

控制系統(tǒng):智能程序化PLC控制系統(tǒng);

真空泵真空度 極限真空1Pa

腔內(nèi)真空度≤10Pa

降溫要求:外置冷卻風機,降溫階段強制降溫;

整機功率: 18KW;

: 380V, 50Hz;

水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機,PLC聯(lián)機控制

保護裝置: 過載、過流、過壓保護,接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護裝置;冷卻水溫保護,壓力過載保護;

技術(shù)服務: 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應。



    
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