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[供應]COL-2-硅晶圓片在顯影后的250度高溫烘烤箱,百級潔凈烤箱

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-12-30 21:00:07

有效期:2024年12月30日 -- 2025年6月30日

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硅晶圓片在顯影后的250度高溫烘烤箱,百級潔凈烤箱

硅晶圓片在顯影后的250度高溫烘烤箱,百級潔凈烤箱

 

 本公司COL-系列無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*溫度控制精度。
技術參數:     
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無塵烤箱潔凈度:100級;
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動 度:±0.5℃
7. 電    源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細玻璃棉; 
9. 空氣循環裝置:大容量軸流電機;
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進口數顯溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;
13. 超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
14. 控制系統:主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
15. 排 氣 口:ф50;
16. 隔    板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。
無塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,
www.done-e.com.

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