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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>CVD、PECVD設備>>CVD管式爐>> OTF-1200X-4-R-II-AF1200℃ 4英寸雙溫區回轉CVD管式爐

1200℃ 4英寸雙溫區回轉CVD管式爐
  • 1200℃ 4英寸雙溫區回轉CVD管式爐
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 合肥科晶
  • 型號 OTF-1200X-4-R-II-AF
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
屬性

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更新時間:2024-10-22 16:25:22瀏覽次數:3511評價

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OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區回轉CVD管,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護環境下進行,可實現用連續CVD方法對粉體材料進行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護環境下對處理好的粉料進行收集。此款管式爐設計主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

 OTF-1200X-4-R-II-AF是一款雙溫區回轉管式爐,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護環境下進行,可實現用連續CVD方法對粉體材料進行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護環境下對處理好的粉料進行收集。此款管式爐設計主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

 

技術參數

爐體結構

  • 雙層爐體結構,并帶有風冷系統
  • 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有氧化鋁涂層
  • 采用直流電機帶動爐管轉動,其轉速:0 - 10 RPM
  • 爐體可傾斜,zui大傾斜角度為30°
  • 爐體開啟式設計,可以達到快速冷卻和便于更換爐管

自動送料器

  • 爐體上安裝有自動送料器,帶有密封結構,可在惰性氣體保護環境下,將粉料送入到爐管內
  • 送料速率可以通過電位計調節,zui大送料速率為:97cm^3/min
  • 一個不銹鋼收料罐(容積為1L),安裝在出料端,可以在氣氛保護環境下收集處理好的物料
  •     

加熱區長度

  • 2個加熱區,每個加熱區長度為200mm,總加熱區長度為400mm
  • 恒溫區長度:200 mm(+/- 1,兩個溫區設置同樣的溫度)

爐管&封法蘭

  • 石英爐管尺寸:  100 mm O.Dx 1200 mm L (異型管)
  • 兩端直徑為60mm) 
  •   
    Four Mixing Blades    Dimension
  • 爐管中焊有楊料板,可以更好的使材料混合
  • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭(法蘭上安裝有不銹鋼針閥和旋轉接頭)

工作溫度

  • zui高工作溫度:1200℃(<1小時)
  • 連續工作溫度:1100℃

溫控系統&熱電偶

  • 兩個溫區有兩個獨立的溫控系統控制,都可設置30段升降溫程序
  • 采用Omega K型熱偶

爐管轉動速度

0 - 10 RPM(可調)

傾斜角度

 左: 0~30°: 右: 0~15°

極限真空度

4.5x10-2 torr(采用機械泵)

功率

  • 回轉爐:4KW
  • 送料器:200W

電壓

AC208 - 240V 單相 (需要30 A的空氣開關)

質保期

一年質保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

質量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認證
  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
         

儀器尺寸

  • 爐體: 1300mm × 600mm × 1200mm 
  • 送料器: 220mm × 220mm × 202mm 

凈重

125kg

應用

  • 可配合本公司的供氣系統,采用CVD方法對粉體材料進行包覆和表面修飾
  • 可選購大容量的自動送料器

警告

  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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