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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>薄膜制備全套設備>>磁控濺射鍍膜設備>> 膜厚監測儀--EQ-TM106

膜厚監測儀--EQ-TM106
  • 膜厚監測儀--EQ-TM106
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
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  • 品牌
  • 型號
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
屬性

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更新時間:2025-02-10 13:40:44瀏覽次數:2864評價

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EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。


技術參數

主要特點

  • 本機可與計算機連接。
  • 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM  
  • 控制輸出的百分比等工作狀態。
  • 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。
  • 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。

EQ-TM106-1監測組件

 

  • 電源:DC   5V(±10%),zui大電流400mA
  • 頻率分辨率:±0.03Hz
  • 膜厚分辨率:0.0136Å(鋁)
  • 膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度
  • 測量速度:100ms-1s/次,可設置
  • 測量范圍:500000Å(鋁)
  • 標準傳感器晶體:6MHz
  • 計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8,停止位:1,校驗:無)
  • 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)
  • 工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
  • 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

 

EQ-TM106-2顯示儀

 

  • 輸入電源:AC 220V±10%
  • 輸出電源:DC   5V  3A
  • 顯示器:12×2數碼管與LED
  • 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8位,停止位:1位  ,奇偶校驗:無)
  • 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

 

EQ-TM106-3探頭

 

  • 適用晶片頻率:6MHz
  • 適用晶片尺寸:Φ14mm
  • 安裝法蘭:CF35
  • 冷卻水管:Φ3mm,長度300mm、500mm、1000mm
  • 冷卻水壓:<0.3MPa
  • 氣動擋板路管:Φ3mm
  • 壓縮空氣壓力:<0.8MPa,> >0.5MPa
  • 烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100℃
  • 電氣接口:BCN插座

標準配件

1

EQ-TM106-1監測組件

1個

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺

3

EQ-TM106-3探頭

1個

 

質保期

一年質保期,終身維護 

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