主要特點 | - 本機可與計算機連接。
- 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
- 控制輸出的百分比等工作狀態。
- 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。
- 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
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EQ-TM106-1監測組件 | - 電源：DC 5V（±10%），zui大電流400mA
- 頻率分辨率：±0.03Hz
- 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
- 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度
- 測量速度：100ms-1s/次，可設置
- 測量范圍：500000Å（鋁）
- 標準傳感器晶體：6MHz
- 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無）
- 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出）
- 工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
- 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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EQ-TM106-2顯示儀 | - 輸入電源：AC 220V±10%
- 輸出電源：DC 5V 3A
- 顯示器：12×2數碼管與LED
- 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位 ，奇偶校驗：無）
- 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
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EQ-TM106-3探頭 | - 適用晶片頻率：6MHz
- 適用晶片尺寸：Φ14mm
- 安裝法蘭：CF35
- 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
- 冷卻水壓：<0.3MPa
- 氣動擋板路管：Φ3mm
- 壓縮空氣壓力：<0.8MPa，> >0.5MPa
- 烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃
- 電氣接口：BCN插座
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標準配件 | 1 | EQ-TM106-1監測組件 | 1個 | 2 | EQ-TM106-2顯示儀 | 1臺 | 3 | EQ-TM106-3探頭 | 1個 |
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質保期 | 一年質保期，終身維護 |
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