主要特點 | - 本機可與計算機連接。
- 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
- 控制輸出的百分比等工作狀態。
- 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。
- 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
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EQ-TM106-1監測組件 | - 電源:DC 5V(±10%),zui大電流400mA
- 頻率分辨率:±0.03Hz
- 膜厚分辨率:0.0136Å(鋁)
- 膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度
- 測量速度:100ms-1s/次,可設置
- 測量范圍:500000Å(鋁)
- 標準傳感器晶體:6MHz
- 計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8,停止位:1,校驗:無)
- 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)
- 工作環境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
- 外形尺寸:90mm×50mm×18mm
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EQ-TM106-2顯示儀 | - 輸入電源:AC 220V±10%
- 輸出電源:DC 5V 3A
- 顯示器:12×2數碼管與LED
- 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置,數據位:8位,停止位:1位 ,奇偶校驗:無)
- 外形尺寸:182mm×65mm×160mm
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EQ-TM106-3探頭 | - 適用晶片頻率:6MHz
- 適用晶片尺寸:Φ14mm
- 安裝法蘭:CF35
- 冷卻水管:Φ3mm,長度300mm、500mm、1000mm
- 冷卻水壓:<0.3MPa
- 氣動擋板路管:Φ3mm
- 壓縮空氣壓力:<0.8MPa,> >0.5MPa
- 烘烤溫度:通水狀態<200℃,不通水狀態法蘭<100℃
- 電氣接口:BCN插座
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標準配件 | 1 | EQ-TM106-1監測組件 | 1個 | 2 | EQ-TM106-2顯示儀 | 1臺 | 3 | EQ-TM106-3探頭 | 1個 |
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質保期 | 一年質保期,終身維護 |