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我司代理的寶德氣體質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。CMOSens 技術,基于熱式原理,將熱傳感器和 放大器,A/D轉換,集成在一個CMOS芯上,并通過內部 微控制器將檢測數據進行*標定和溫度補償,這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點。
目前,一些的熱式流量計廠家正在紛紛開發(fā)CMOS芯片式質量流量計。寶德研發(fā)和生產質量流量產品已有100余年的歷史,廣泛應用于各類需檢測和控制氣體流量的設備上。下面介紹一下我公司在工程上的部分應用:
1、在真空鍍膜中的應用:
用戶之前使用的是國產氣體質量流量控制器為玻璃進行沉積一層強度非常高的氮化膜層,鍍膜方式采用離線真空濺射法所鍍的膜層厚薄不均,有很明顯的斑點,在工作中受高溫和高壓強的影響,膜層容易起斑點,膜層組織可控參數少、膜層粒子總體能量不高,不容易進行反應沉積。所鍍膜后的工件嚴重影響被加工件的加工精度。
分析其原因,主要是因為氣體質量流量控制器在工作受到現場設備磁場的干擾和鍍膜機上的震動引起對反應氣體的控制不穩(wěn)定,氣體響應滯后,控制精度不高導致的,因此要求充入的氣體控制穩(wěn)定,精度要求高。所以寶德質量流量控制器肯定是能更好的投入使用的。
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