反滲透法

        反滲透（RO）法是可達到90%~99%雜質去除率中的方法。RO膜的濾孔結構較UF膜還要致密，RO膜可去除所有的顆粒、細菌以及分子量大于300的有機物（包括熱源）。 
        當第二種不同濃度的溶液，由一個半透膜隔開時，滲透現象會自然發生。滲透壓將水壓過半透膜，水將濃度較高的溶液稀釋，zui后造成濃度平衡。在水純化系統中，施加壓力于高濃度的溶液中，以抗衡滲透壓。如此迫使得純水由高濃度的液體通過RO膜，并可加以收集。由于RO膜致密度*，因此，產出的水流很慢，需要經過相當的時間，貯水箱內才會有足夠的水量。 
        RO膜可執行離子排除，使得只有水可通過RO膜，其余所有的離子及溶解的分子都被截留，并加以排除（包括鹽類和糖）。RO膜以電荷反應將離子排除，帶電荷愈大，排除性愈高，所以RO膜幾乎可排除所有的（>99%）強離子性的高價離子，但是，對于弱離子性的單價離子（如鈉離子）的效果只有95%。不同的進水需要不同種類的RO膜，RO膜包括由乙酸纖維酯制成，或是以聚硫胺與聚砜基質的混合薄層聚合物。 
        如果以原水水質及產水水質為基準，經過適當設計后，RO是將自來水純化的有效方法。RO同時也是試劑級純水系統的前處理方法。

蒸餾法

蒸餾法是通過改變水的形態，從液態到氣態再回到液態，將水和污染物分離。每一個轉換過程都為純水與污染物的分離提供了機會。理論上，除蒸汽壓力與水接近的物質和共沸化合物，蒸餾法能去除所有種類的水中污染物。 
像RO一樣，蒸餾法生產純水的速度較慢，所以蒸餾水必須先儲存起來以備日后使用。 
蒸餾水器非常耗電，每生產1升純水通常耗費1KW電力。依據蒸餾水器的不同設計，蒸餾水的電阻率大約能達到1 MΩ-cm，因為空氣中的CO2會溶入蒸餾水中迅速降低其電導率。新鮮蒸餾水是無菌的，但如果保存不當，一段時間后就不再是無菌的了。